用于TES测辐射热计的Al/Ti双层薄膜制备及其超导特性研究

• 作者: 刘建设 周幸祥 张青雅 李铁夫 王天顺 董文慧 陈俊康 陈炜
• 来源期刊: 低温物理学报
• 关键词: Al/Ti双层薄膜 临界温度 邻近效应 TES测辐射热计
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 页码范围: 7-12
• 页数: 6页
• 语种: 中文

摘要

本文报道了用于超导TES (Transition Edge Sensor)测辐射热计的Al/Ti双层薄膜制备及其超导特性研究.通过分析Al薄膜表面粗糙度和室温电阻率在不同溅射功率和氩气压力下的变化关系,优化了Al薄膜的制备工艺.使用磁控溅射技术生长了一系列不同厚度的Al/Ti双层薄膜,在氦三制冷机中测量了双层膜的超导特性.测试结果表明,Al/Ti双层薄膜具有良好的超导相变特性,在10 μA测试电流下,其相变宽度保持在3mK～6 mK范围内,在超导临界温度下电阻对温度的灵敏度参量α在300左右;由于超导邻近效应(Proximity effect),双层薄膜的临界温度可以通过控制Ti薄膜的厚度实现在470mK～800mK温区内的调节.Al/Ti双层薄膜的这些性能满足了制备超导TES测辐射热计的需要.