不同氩气流量下溅射所得TiOx薄膜的结构和光学性能

• 作者: 刘春伟 吕长东 唐晓红 杜姗 黄美东
• 来源期刊: 天津师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧化钛薄膜 磁控溅射 氩气流量 透射谱 折射率
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 页码范围: 27-30
• 页数: 4页
• 分类号: O433.5+9
• 字数: 2166字
• 语种: 中文

摘要

为探究不同氩气流量对TiOx薄膜结构和光学性能的影响,采用常温反应磁控溅射法,在K9双面抛光玻璃基底上制备TiOx薄膜样品,利用X线衍射分析样品的晶体结构,通过原子力显微镜观察样品表面结构,使用光栅光谱仪测试样品透射率,并计算得到薄膜沉积速率和消光系数等光学参数.实验结果表明:氩气流量对TiOx薄膜的光学性能具有较为明显的影响,随着氩气流量的增加,薄膜的光学厚度和沉积速率随之增加,而折射率有微小增加,消光系数受氩气流量的影响不大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄美东	天津师范大学物理与材料科学学院	56	185	7.0	10.0
2	吕长东	天津师范大学物理与材料科学学院	3	10	2.0	3.0
3	杜姗	天津师范大学物理与材料科学学院	7	15	3.0	3.0
4	刘春伟	天津师范大学物理与材料科学学院	5	12	2.0	3.0
5	唐晓红	天津师范大学物理与材料科学学院	5	12	2.0	3.0