MEMS阵列式推进器及其音频采集系统设计与实现

• 作者: 常洪龙 李太 申强 苑伟政 谢建兵
• 来源期刊: 固体火箭技术
• 学科: 航空航天
• 关键词: 皮卫星 有效载荷 音频采集系统 MEMS阵列式推进器
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 测试技术
• 页码范围: 277-280
• 页数: 4页
• 分类号: V439
• 字数: 2109字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7673/j.issn.1006-2793.2014.02.026

摘要

研制了一种基于微机电系统（ MEMS）技术的微型阵列式推进器，并开发了记录其点火过程的音频采集系统。该推进器利用金属溅射、体硅干法刻蚀等工艺制作点火电阻和燃烧室，完成了点火电阻、引线以及焊盘的一体化加工，利用硅-玻璃阳极键合工艺完成燃烧室和点火电阻的封装，并采用硅微麦克风捕获点火过程产生的音频信息。结果表明：MEMS阵列式推进器尺寸为8．8 mm×8．8 mm，采用5 V低电压供电实现推进器点火，功率约为900 mW，由捕获的音频信息可知，点火过程大约持续了40μs。作为皮卫星的有效载荷，满足飞行任务需求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苑伟政	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	70	351	10.0	14.0
2	常洪龙	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	25	112	6.0	10.0
3	谢建兵	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	6	23	4.0	4.0
4	申强	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	8	35	4.0	5.0
5	李太	西北工业大学空天微纳系统教育部重点实验室	1	4	1.0	1.0