声表面波技术在微流控研究领域中的应用

• 作者: 刘国君 刘建芳 李新波 杨志刚 杨旭豪 赵天
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波(SAW) 叉指型换能器(IDT) 微流体 液滴振动 液滴平移 微流体喷射 微流体雾化
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 438-446
• 分类号: O35|TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2014.07.006

摘要

介绍了声表面波(SAW)器件的基本构造及工作原理,分析了声表面波进入微流体后所产生的复杂的流-固耦合效应.根据液滴随着声表面波功率的增大所出现的不同响应,将声表面波技术在微流控研究领域中的应用具体分为液滴振动及粒子聚集、液滴平移及粒子收集、微流体喷射、微流体雾化四大类.分别讨论了各类应用的工作原理及其在相关研究领域中典型的应用实例,指出了声表面波相比其他驱动方式在微流控研究领域中的优势.综合国内外研发现状,分析了目前研究过程中存在的问题,提出了声表面波驱动微流体今后的研究方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨志刚	吉林大学机械科学与工程学院	234	2872	26.0	40.0
2	刘建芳	吉林大学机械科学与工程学院	48	387	11.0	17.0
3	刘国君	吉林大学机械科学与工程学院	32	258	10.0	14.0
4	李新波	吉林大学通信工程学院	26	59	5.0	6.0
5	赵天	吉林大学机械科学与工程学院	5	25	3.0	5.0
6	杨旭豪	吉林大学机械科学与工程学院	4	11	2.0	3.0