平面干涉仪检测立方体直角误差的方法

• 作者: 刘树民
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 平面干涉仪 测量 立方体 直角误差
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 光学测量
• 页码范围: 286-288
• 页数: 3页
• 分类号: TH161+.11
• 语种: 中文

摘要

介绍一种使用平面干涉仪对立方体直角误差的测量方法。利用激光干涉测量方法具有精度高和灵敏度高的特点，制做一个放置立方体的夹具，使其测试光路在立方体内经反射后又由入射面出射，当与测试平行光重合时形成干涉，实现用平面干涉仪对立方体直角误差的检测。同时，也可对立方体表面平面度、玻璃材质缺陷等指标进行判别。具有与棱镜透镜干涉仪检测立方体直角误差的同等效果。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘树民	南京理工大学军工试验中心	8	17	3.0	3.0