TiO2纳米孔到纳米管结构转变的因素及其机理研究

• 作者: 张晓娟 戴丹 李朋 赵昆渝 郭军 黄峰
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: 钛膜 TiO2纳米孔 TiO2纳米管 氟离子浓度 阳极氧化电压
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 材料与工艺
• 页码范围: 58-63,74
• 页数: 7页
• 分类号: O644
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4381.2014.01.011

摘要

通过中频脉冲磁控溅射的方法,在玻璃基底上沉积得到了表面均匀性好、致密度高的钛薄膜.在NH4 F/乙二醇+H2O电解液体系中对该钛膜进行电化学阳极氧化.结果表明:30V恒电压下,当NH4F浓度从0.5％(质量分数,下同)增加到1％时,阳极氧化后形成的TiO2膜层逐渐从纳米孔结构转变成纳米管结构;当NH4F浓度低于0.75％时,随阳极氧化电压的增加,形成的TiO2膜层不会出现从纳米孔到纳米管结构的转变.