氮气流量对（Ti，Al，Si，Cr）N超硬薄膜的结构与性能的影响

• 作者: 王芳 赵海波 黄维刚
• 来源期刊: 金属热处理
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 (Ti,Al,Si,Cr)N膜 超硬膜 N2 流量
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 页码范围: 65-67,68
• 页数: 4页
• 分类号: TG148
• 语种: 中文

摘要

采用等离子增强磁控溅射技术（PEMC）在YG8硬质合金表面制备了（Ti，Al，Si，Cr）N超硬膜，研究了N2流量对膜层结构、成分、形态特征与性能的影响。结果表明，所得薄膜为面心立方结构，随N2流量增加，薄膜的晶体学取向由（111）晶面向（200）晶面转变。薄膜表面呈现柱状晶形态，N2流量为70 sccm（标况mL/min）时，柱状晶尺寸最小，粗糙度最低。所得薄膜的硬度随N2流量的增加先增大后减小，N2流量为70 sccm时，达到最大值35．70 GPa。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王芳	四川大学材料科学与工程学院	138	778	17.0	23.0
2	黄维刚	四川大学材料科学与工程学院	56	381	12.0	17.0
3	赵海波	四川大学材料科学与工程学院	26	175	7.0	12.0