低维纳米材料的力学性能测试技术研究进展

• 作者: 刘建秀 张段芹 褚金奎
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 低维纳米材料 力学性能 测试技术 片上测试 纳机电系统(NEMS)
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 451-457
• 分类号: TN304.07
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2014.07.008

摘要

低维纳米材料作为纳机电系统(NEMS)中重要的结构层材料,其力学性能与变形失效机理的研究直接影响NEMS的功能实现、可靠性分析与寿命预测.首先,介绍了现有低维纳米材料力学性能测试技术,如纳米压痕法、基于原子力显微镜(AFM)的纳米力学测试法、基于电子显微镜(EM)的原位纳米力学测试法与基于微机电系统(MEMS)技术的片上纳米力学测试法,并讨论了各种测试方法的优缺点与存在的挑战性.然后,详细介绍了低维纳米材料力学测试,特别是片上纳米力学测试中的关键技术,如低维微纳米试样的拾取、操纵与固定技术、片上微驱动技术、片上微位移与微力检测技术.最后,得出基于MEMS技术的片上力学测试方法有望成为低维纳米材料力学测试的发展方向,并指出此方法中存在的问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	褚金奎	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	119	1260	20.0	30.0
2	刘建秀	郑州轻工业学院机电工程学院	135	564	11.0	15.0
3	张段芹	郑州轻工业学院机电工程学院	10	46	5.0	6.0