一种双向保护管电路的研制

• 作者: 丁继洪 于航 周福虎 姜楠 孙涛
• 来源期刊: 集成电路通讯
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅掺杂 多晶硅电阻 高温退火 击穿电压
• 年，卷（期）: jcdltx_2014,（1）
• 页码范围: 38-40
• 页数: 3页
• 分类号: TN949.12

摘要

保护管电路是一种抗静电保护电路。采用多晶硅磷掺杂工艺，有效抑制了因多晶硅厚度减少引起的多晶硅电阻的调试问题，解决了保护管电路工艺中多晶硅掺杂的技术难点；通过优化退火工艺成功优化了保护二极管的击穿电压，研制出合格的双向双路保护管。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙涛	北方通用电子集团有限公司微电子部	2	0	0.0	0.0
2	周福虎	北方通用电子集团有限公司微电子部	2	0	0.0	0.0
3	丁继洪	北方通用电子集团有限公司微电子部	2	0	0.0	0.0
4	姜楠	北方通用电子集团有限公司微电子部	2	0	0.0	0.0
5	于航	北方通用电子集团有限公司微电子部	1	0	0.0	0.0