高可靠薄膜成膜及TaN电阻稳定性工艺研究

• 作者: 宋泽润 李佳 李林森 汪涛
• 来源期刊: 混合微电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 预处理 溅射 方阻 热处理
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 页码范围: 39-43,50
• 页数: 6页
• 分类号: TB43
• 语种: 中文

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋泽润		11	18	3.0	4.0
2	李佳		33	57	4.0	6.0
3	汪涛		13	18	2.0	4.0
4	李林森		7	0	0.0	0.0