MAIP镀TiN薄膜结构形貌的研究

• 作者: 宋刑 宋媛媛 李忠厚
• 来源期刊: 热处理技术与装备
• 关键词: 多孤离子镀 TiN薄膜 组织结构 形貌
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 性能研究
• 页码范围: 19-22
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文

摘要

本文用多弧离子镀膜(MAIP)技术在高速钢基片表面镀TiN后,用XRD和SEM对膜层组织结构、形貌进行了分析.结果显示,在高速钢基片表面的为TiN薄膜,该TiN膜致密,但在薄膜表面有少量白色大颗粒和黑点.能谱分析显示,白亮的大颗粒成分与普通膜面几乎相同,大黑点是直通基体的针孔,小黑点是盲孔.结论:这些大颗粒降低了薄膜表面粗糙度,对薄膜的耐磨性产生不利影响,而且针孔的存在,对膜层的耐蚀性有不利影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李忠厚		8	25	3.0	4.0
2	宋刑		2	1	1.0	1.0
3	宋媛媛		3	3	1.0	1.0