MEMS惯性导航传感器

• 作者: 周红进 易成涛 钟云海
• 来源期刊: 舰船科学技术
• 学科: 交通运输
• 关键词: 惯性导航 传感器 激光陀螺 光纤陀螺 MEMS惯性传感器
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 装备技术
• 页码范围: 115-121
• 页数: 7页
• 分类号: U666.1
• 字数: 5931字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3404/j.issn.1672-7649.2014.01.023

摘要

对大多数导航应用而言，精度并不是最重要的因素，在满足精度的前提下，尽可能降低成本、缩小体积才最重要。 MEMS( Micro Electro Mechanical System)惯性传感器在民用市场已得到广泛应用，在战术级的导航中也开始逐渐应用，这主要受益于利用科里奥利效应制造的各种类型的MEMS陀螺。目前还没有达到战术级应用的环形激光陀螺和光纤陀螺的精度水平，但MEMS惯性传感器深具潜力。本文介绍当前MEMS陀螺和加速度计制造技术的发展，重点讨论MEMS传感器的设计及性能，并展望MEMS惯性传感器的发展前景。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周红进	海军大连舰艇学院航海系	29	86	5.0	8.0
2	钟云海	海军大连舰艇学院航海系	20	80	5.0	8.0
3	易成涛	海军大连舰艇学院航海系	28	314	6.0	17.0