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一种LTPS面板厂建厂设计提案构想介绍
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摘要：
从工艺需求、成本、工期与污染控制的角度出发,检视目前面板厂建厂的设计概念后,提出另外一种LTPS建厂设计的提案构想,以为业界参考.
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研究主题发展历程
节点文献
面板厂
低温多晶硅(LTPS)
建厂
设计提案构想
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
洁净与空调技术
主办单位：
中国电子工程设计院
中国电子学会洁净技术分会
出版周期：
季刊
ISSN：
1005-3298
CN：
11-3395/TM
开本：
16开
出版地：
北京海淀区万寿路27号
邮发代号：
82-577
创刊时间：
1994
语种：
chi
出版文献量（篇）
1908
总下载数（次）
7
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