栅网式离子能量分析仪的模拟及实验研究

• 作者: 弥谦 杭凌侠 潘永强 王飞飞
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 栅网式能量分析仪 Simion 模拟 离子能量 离子源
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 其它
• 页码范围: 432-437
• 分类号: O484.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2014.04.23

摘要

为了研究离子源所发射出的离子能量分布规律,本文采用离子光学模拟软件Simion7.0对四栅网离子能量分析仪中网格参数进行了相关模拟实验,理论分析表明,栅网透射率对离子能量的测试有一定影响,在设计栅网式离子能量分析仪时应根据所测等离子体的特性确定网格大小和网格间距.采用研制的四栅网离子能量分析仪对宽束冷阴极离子源在不同条件下的离子能量分布进行了实验测试,测试结果表明,离子源的工作真空度越低,测得的离子平均能量越小;当改变离子源的引出电压时,离子平均能量测试误差小于2％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	弥谦	西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室	60	260	9.0	14.0
2	杭凌侠	西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室	93	777	15.0	22.0
3	潘永强	西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室	63	392	11.0	15.0
4	王飞飞	西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室	3	4	2.0	2.0