基于氧化铝陶瓷的无线无源压力传感器

• 作者: 任重 李赛男 梁庭 洪应平 熊继军 郑庭丽
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化铝陶瓷 无线耦合 压力测试 谐振频率 灵敏度
• 年，卷（期）: 2014,（9）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 583-587
• 分类号: TP212
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2014.09.006

摘要

研究了一种基于质量分数为96％氧化铝陶瓷的无线无源压力传感器,利用陶瓷的多层叠片技术、高温烧结技术和丝网印刷技术完成了压力传感器的设计和制备.分析了传感器的无线耦合测试的理论模型,提出了一种读取相位差值的检测方法,并通过搭建常温下的压力测试系统,对传感器在3 cm的测试距离以及0～2 bar(1 bar=105 Pa)的压力变化下进行压力测试.测试结果表明,基于氧化铝陶瓷的传感器的谐振频率随压力的增大而减小,近似于线性变化,其灵敏度约为225 kHz/bar.