离子注入技术在高效晶硅太阳电池中的应用

• 作者: 宋志成 屈小勇 张治 董鹏
• 来源期刊: 太阳能
• 关键词: 掺杂 离子注入 IBC电池
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 技术产品与工程
• 页码范围: 18-20,25
• 页数: 4页
• 字数: 2558字
• 语种: 中文

摘要

离子注入技术作为半导体领域中一项重要的掺杂工艺,将其应用到太阳电池中,可大幅提高电池转换效率.本文从工艺原理、工艺实现、关键技术难点、产业化情况等方面分析了离子注入技术.包括IBC电池在内,离子注入技术在未来高效晶硅电池中将扮演重要角色.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董鹏		7	14	2.0	3.0
2	宋志成		3	6	1.0	2.0
3	张治		4	9	2.0	3.0
4	屈小勇		2	6	1.0	2.0