X射线光电子能谱在材料表面研究中的应用

• 作者: 余锦涛 冯婷 支歆 郭占成
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: X射线光电子能谱 表面分析 材料研究
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 综述·专论
• 页码范围: 119-124
• 分类号: TH838
• 语种: 中文

摘要

通过阐述XPS测试原理及工作特点,讨论其在材料表面研究中的具体应用.通过光电子谱峰位置、形状和强度,可以分析元素价态、含量.角分辨XPS可以检测超薄样品表面的化学状态,成像XPS可以显示样品表面的元素和价态分布,从而进行微区分析.利用氩离子刻蚀进行深度剖析,可以研究样品化学状态随深度的变化关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭占成	北京科技大学钢铁冶金新技术国家重点实验室	102	959	17.0	25.0
2	支歆	北京科技大学钢铁冶金新技术国家重点实验室	4	76	3.0	4.0
3	余锦涛	北京科技大学钢铁冶金新技术国家重点实验室	3	82	3.0	3.0
4	冯婷	北京科技大学冶金实验技术中心	3	63	2.0	3.0