用于微米尺寸检测技术的涡流测量装置

• 作者: 于亮 金斌
• 来源期刊: 上海计量测试
• 关键词: 微点涡流 集肤效应 提离效应 非接触式微米尺寸检测
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 42-44
• 页数: 3页
• 字数: 1866字
• 语种: 中文

摘要

根据高频涡流原理的集肤效应，研制出非接触式多通道微米尺寸测量系统。本文论述系统的组成、技术的原理、实验的测试结果，并得到小于2μm的误差结果，从而说明该系统满足精密零件的在线筛选检测的要求，在全自动生产线上有广阔的应用前景。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于亮		2	0	0.0	0.0
2	金斌		1	0	0.0	0.0