改良西门子法多晶硅还原工序节能降耗研究

• 作者: 孙强 李玉焯 汤传斌
• 来源期刊: 中国有色冶金
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 沉积速率 节能降耗
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 多晶硅
• 页码范围: 24-27
• 页数: 4页
• 分类号: TQ127.2
• 字数: 4385字
• 语种: 中文

摘要

介绍了多晶硅产业的发展和研究现状,并针对改良西门子法的多晶硅制备环节,总结和分析了工艺、装备及管理的能耗影响规律,并阐述了节能降耗的方法和措施.工艺方面应在保证三氯氢硅一次转化率的前提下,尽量提高多晶硅的沉积速率,通过适当提高混合气流量和硅棒温度,提高三氯氢硅摩尔比例,提高炉内反应压力,达到降低电耗的效果;装备方面可以选用多对棒还原炉,并优化配套电器系统来确保电耗进一步降低;管理降耗的重点是重视市场的资源配置作用,能够适时根据市场环境及时调整多晶硅质量策略,并尽量降低备件消耗,利用考核和绩效激励方式减少人为浪费.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汤传斌		12	81	5.0	9.0
2	李玉焯		3	11	1.0	3.0
3	孙强		2	13	2.0	2.0