外延BiFe0.95Mn0.05O3薄膜的结构和性能研究

• 作者: 史金超 安海娇 张东升 范志东 陈明敬 马继奎
• 来源期刊: 真空
• 学科: 物理学
• 关键词: BiFe0.95Mn0.05O3 磁控溅射 铁电性 外延生长
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 页码范围: 33-36
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2305字
• 语种: 中文

摘要

采用磁控溅射的方法在SrRuO3(SRO)/SrTiO3(001)衬底上外延生长BiFe0.95Mn0.05O3(BFMO)薄膜，研究沉积温度对BiFe0.95Mn0.05O3薄膜结构、铁电性能、漏电流及疲劳保持特性的影响。X射线衍射图谱显示在780℃生长的BiFe0.95Mn0.05O3薄膜结构良好、无杂相峰。在此温度下，SRO/BFMO/SRO异质结电容器剩余极化强度Pr最高，为115μC/cm2，矫顽场Ec约为128 kV/cm，电容器漏电流密度随着生长温度的升高而增大。 BiFe0.95Mn0.05O3薄膜电容器在经过1010次极化反转和104 s的保持时间后表现出良好的抗疲劳特性和保持特性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马继奎	英利能源中国有限公司光伏材料与技术国家重点实验室	5	1	1.0	1.0
2	陈明敬		4	1	1.0	1.0
3	范志东	英利能源中国有限公司光伏材料与技术国家重点实验室	2	1	1.0	1.0
4	张东升	英利能源中国有限公司光伏材料与技术国家重点实验室	9	1	1.0	1.0
5	安海娇	英利能源中国有限公司光伏材料与技术国家重点实验室	2	0	0.0	0.0