低电阻率高透过率AZO薄膜的探讨与制备

• 作者: 李晓东 邵世强
• 来源期刊: 玻璃与搪瓷
• 学科: 工学
• 关键词: AZO 低电阻率 ITO 触控 电子显示
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与实验报告
• 页码范围: 10-13
• 页数: 4页
• 分类号: TQ133.1
• 字数: 2017字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13588/j.cnki.g.e.1000-2871.2014.05.003

摘要

随着触控技术在电子显示领域的应用,传统透明导电氧化物ITO的需求量逐年提高.由于铟储量有限、价格昂贵,且属重金属元素,环境友好度低,而同样属于透明导电氧化物的AZO,也具有优异的光电性能,且资源丰富、价格低廉,无污染.作为ITO的一种替代材料,正在成为研究的热点.本文主要探讨与制备高透过率和低电阻率的AZO.