水溶液中电化学沉积GaSb相变存储薄膜

• 作者: 周健 孙志梅 潘元春 熊钰林 萨百晟
• 来源期刊: 电化学
• 学科: 化学
• 关键词: GaSb薄膜 电化学共沉积 乙二醇
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 134-138
• 页数: 5页
• 分类号: O612.3
• 语种: 中文
• DOI: 10.13208/j.electrochem.130322

摘要

利用恒电位共沉积技术和热处理的方法成功制备了GaSb薄膜,探索了添加乙二醇溶剂对薄膜结晶性和形貌的影响.采用循环伏安法初步研究了共沉积GaSb的机理,并用X-射线衍射技术(XRD)、扫描电子显微技术(SEM)和能谱分析(EDS)表征、观察样品.研究表明,在沉积过程中,SbO+先还原成Sb单质,再诱导Ga3+发生共沉积;沉积电位对薄膜的结晶性、微观形貌和成分有显著影响;电解液加入乙二醇更利于在较高的正电位下直接沉积出GaSb,且有效地提高了薄膜的结晶度,改善了薄膜的微观形貌.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊钰林		1	0	0.0	0.0
2	潘元春		2	0	0.0	0.0
3	萨百晟		2	0	0.0	0.0
4	周健		6	13	2.0	3.0
5	孙志梅		1	0	0.0	0.0