逐层微细电阻滑焊工艺制备三维微结构

• 作者: 伍晓宇 徐斌 杜晨林 王振龙 罗烽 阮双琛 雷建国 龚峰
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 三维微结构 飞秒激光切割 逐层微细电阻滑焊 沉积效应
• 年，卷（期）: 2014,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1251-1259
• 页数: 9页
• 分类号: TG661|TG485
• 字数: 3552字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20142205.1251

摘要

采用飞秒激光切割和微细电阻滑焊组合的方法制备了高深宽比的三维微结构.为了提高每层二维微结构的叠加精度和连接强度,用逐层微细电阻滑焊对每层二维微结构进行滑焊以获得较好的工艺参数.对上述工艺参数所制备的微结构进行了抗剪切能力测试,测试结果显示:随着滑焊放电次数的增加,微结构的极限剪切力由8.04 N逐渐增加至65.97 N.而后,通过能量分散光谱仪(EDS)对电极的沉积效应进行了研究.最后,在120 mW的飞秒激光,50 μm/s的切割速度,0.21V的焊接电压,0.2 MPa的焊接压强,100 ms的预压时间,10ms的焊接时间以及1 60次的滑焊放电次数等工艺参数下制备了基本尺寸为50 μm×50 μm的微方孔阵列以及微齿轮结构.实验结果表明:通过逐层微细电阻滑焊制备的微结构表面质量良好,各层微结构之间叠加较好,显示逐层微细电阻滑焊可以较好地保证三维微结构中各层二维微结构的连接强度和叠层精度.