基于显微光杠杆技术的微结构偏转角测量系统

• 作者: 刘璐 吴森 李艳宁 胡晓东
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光学测量 微结构 光杠杆 偏转角 电流模式
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: 光学测量
• 页码范围: 219-224
• 页数: 6页
• 分类号: TN29
• 语种: 中文

摘要

针对微结构的偏转角度测试需求，设计并搭建了一套基于显微光杠杆技术的角度测量系统。该系统将光杠杆光路与无限共轭显微光路相结合，所得聚焦光斑直径小于10μm ；采用电流模式电路处理四象限探测器输出信号，系统理论带宽超过5M Hz ；系统对微结构的转角测量分辨力和理论量程分别可达1．2″和±4°。利用该系统测量了原子力显微镜微悬臂梁探针在步进载荷下的偏转情况，测量结果与铁摩辛柯梁理论计算一致，验证了系统的可靠性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李艳宁	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	45	211	8.0	11.0
2	胡晓东	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	86	712	15.0	23.0
3	吴森	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	13	62	4.0	7.0
4	刘璐	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	10	125	5.0	10.0