轴承钢磁控溅射TiN涂层工艺参数对其性能的影响

• 作者: 熊晓晨 燕怒 韩晓琪
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 TiN涂层 轴承钢 硬度 耐磨性
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 67-70,89
• 分类号: TG174.444
• 语种: 中文

摘要

目的 研究磁控溅射工艺参数,包括溅射功率、溅射时间,对TiN涂层轴承钢表面性能的影响.方法 采用磁控溅射技术,固定其他工艺参数不变,分别以溅射功率和溅射时间为变量,在轴承钢GCr15表面镀制TiN膜层,并测定硬度,进行摩擦磨损试验.结果 固定溅射功率为200 W,随镀膜时间的延长,硬度和耐磨性呈递减趋势,镀膜时间为5 ～ 10 min时,硬度值达345.23 ～ 353.88HV,摩擦磨损量为2.9 ～3.4 mg.固定镀膜时间为30 min,随着溅射功率从70 W增大至200 W,硬度与耐磨性也呈递减趋势,溅射功率为100 W时,硬度值可达577.91 HV,摩擦磨损量为0.9 mg.结论 溅射功率的影响占主导地位,且溅射功率不宜偏高.欲提升材料表面硬度和耐磨性能,溅射功率取100 W,镀膜时间取30 min最为适宜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	燕怒	三峡大学水电机械设备设计与维护湖北省重点实验室	6	34	4.0	5.0
3	韩晓琪	三峡大学水电机械设备设计与维护湖北省重点实验室	3	18	2.0	3.0
5	熊晓晨	三峡大学水电机械设备设计与维护湖北省重点实验室	4	24	2.0	4.0