基于薄膜混合集成的梳齿式MEMS加速度计闭环伺服电路研究

• 作者: 孙函子 庄永河
• 来源期刊: 混合微电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 梳齿式 MEMS 闭环伺服电路 薄膜混合集成
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 页码范围: 8-13
• 页数: 6页
• 分类号: TH824.4
• 语种: 中文

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	庄永河		36	18	2.0	4.0
2	孙函子		3	38	1.0	3.0