基于丁腈橡胶帽封装的MEMS仿生水听器的设计

• 作者: 刘梦然 张国军 张文栋 简泽明
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS仿生水听器 丁腈橡胶帽封装 频率 灵敏度 小型化
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 21-25
• 页数: 5页
• 分类号: TP565.1
• 字数: 2582字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2014.01.005

摘要

针对现有封装结构会对灵敏度造成一定程度的损失,使现有水听器的灵敏度小于水听器芯片裸测灵敏度的问题,改用了透声性能好、耐腐蚀的丁腈橡胶( NBR)制作的透声帽,并对现有的矢量水听器的封装外壳进行相应的优化设计。该封装结构的水听器的共振频率降低到50 Hz以下,水听器所感兴趣的频段(50 Hz~4 kHz)不会受到封装谐振的干扰,拓宽了水听器的工作频段。该封装的灵敏度提高到几乎与裸片的灵敏度一致,达到(-170±2)dB,并优化金属管壳的圆盘的尺寸,即水听器最大径,由36 mm缩小至28 mm,使水听器的封装进一步小型化。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张国军	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	75	334	8.0	13.0
5	张文栋	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	167	1172	16.0	26.0
9	刘梦然	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	5	20	3.0	4.0
13	简泽明	中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	5	15	2.0	3.0