微细直角图形失真及预补偿设计方法

• 作者: 徐进 王刚明 袁卓颖
• 来源期刊: 光电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 掩模板 微细直角 图形失真 预补偿
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 295-299
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 1884字
• 语种: 中文

摘要

提出一种误差预补偿的方法,调整引起的掩模特征形状以实现光罩图形的轮廓调制,通过数据前期的预补偿,减少失真,从而改善微细直角的最终光刻制作结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐进	中国电子科技集团公司第五十五研究所	4	120	2.0	4.0
2	袁卓颖	中国电子科技集团公司第五十五研究所	1	0	0.0	0.0
3	王刚明	中国电子科技集团公司第五十五研究所	1	0	0.0	0.0