碳纳米管气敏传感器微电极的制备与检测

• 作者: 冉祥涛 王志 王成响
• 来源期刊: 山东科学
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻 叉指微电极 碳纳米管 传感器
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 海洋科技与装备专栏
• 页码范围: 22-26
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 2673字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3976/j.issn.1002-4026.2014.01.004

摘要

基于参数优化设计了一种电场分布合理的叉指微电极结构,利用光刻技术在ITO表面成功制备了最小指间距约为4μm的叉指微电极,为微电极制备提供了一种可靠、低成本的制备方法.将这种微电极用于碳纳米管气敏传感器中,并利用氨气对其气敏特性进行测试,结果表明,纳米材料修饰的微电极气敏传感性能得到了明显提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王志	山东省科学院海洋仪器仪表研究所	4	3	1.0	1.0
2	冉祥涛	山东省科学院海洋仪器仪表研究所	3	1	1.0	1.0
3	王成响	山东省科学院海洋仪器仪表研究所	1	1	1.0	1.0