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Structure and properties of CIGS films based on one-stage RF-sputtering process at low substrate temperature
Structure and properties of CIGS films based on one-stage RF-sputtering process at low substrate temperature
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摘要：
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文献信息
| 篇名 | Structure and properties of CIGS films based on one-stage RF-sputtering process at low substrate temperature | ||
| 来源期刊 | 现代交通学报：英文版 | 学科 | 物理学 |
| 关键词 | 薄膜太阳能电池 衬底温度 CIGS 工艺性能 扫描电子显微镜 基础 结构 溅射 | ||
| 年，卷（期） | 2014,（1） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 37-44 | |
| 页数 | 8页 | 分类号 | O484.1 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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