TFT玻璃基板中的铂金粒子研究

• 作者: 张军锋
• 来源期刊: 玻璃
• 学科: 工学
• 关键词: 玻璃基板 铂金 铂金粒子
• 年，卷（期）: 2014,（12）
• 所属期刊栏目: 玻璃深加工
• 页码范围: 44-45
• 页数: 2页
• 分类号: TQ171
• 字数: 1884字
• 语种: 中文

摘要

通过分析玻璃基板制造中存在的铂金粒子的产生机理,为玻璃基板制造中控制铂金粒子的产生提供参考依据,从而降低玻璃基板生产中铂金粒子的发生率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张军锋		1	2	1.0	1.0