高频气体击穿与真空击穿之间的联系

• 作者: 崔万照 王瑞 翁明
• 来源期刊: 空间电子技术
• 关键词: 高频击穿 扩散控制的击穿 微放电 特征扩散长度 2次电子发射系数
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 微波技术
• 页码范围: 6-10,19
• 页数: 6页
• 字数: 3425字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-7135.2014.01.002

摘要

文章采用基本物理参量，对于平板放电系统，探讨了高频放电的扩散机制和微放电机制。提出并采用等效特征扩散长度的概念，将高频气体击穿和真空击穿联系在一起。研究结果表明，在使用等效特征扩散长度后，由扩散机制计算出的高频击穿电场与实验更加吻合。此外，等效特征扩散长度表达式中的系数，与电极材料2次电子发射系数特性曲线中的第一交叉点能量密切相关。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	翁明	西安交通大学电子科学与技术系	24	111	6.0	8.0
3	崔万照		8	70	5.0	8.0
4	王瑞		4	19	3.0	4.0