低温泵用吸附材料的研究概述

• 作者: 周家屹 孙庆艳 武义锋 许令顺
• 来源期刊: 低温与超导
• 关键词: 低温泵 分子筛 活性炭 低温霜
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 低温技术
• 页码范围: 29-34
• 页数: 6页
• 字数: 4494字
• 语种: 中文

摘要

低温泵广泛应用于真空电子、半导体领域.低温泵的吸附材料对低温泵的工作性能有着重要的影响.综述了低温泵的吸附材料性能与研究现状.首先总结了吸附材料的表征方法及研究内容.然后分别叙述了分子筛、低温霜和活性炭三种低温泵主要用的吸附材料的工作性能,指出其优势和不足.最后以ITER用的低温泵为例说明低温吸附材料的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	武义锋		11	36	4.0	5.0
3	孙庆艳	安徽师范大学生命科学院	39	175	7.0	10.0
6	许令顺		7	20	3.0	4.0
10	周家屹		3	4	1.0	2.0