MEMS前景看好 道路曲折

• 作者: 赵佶
• 来源期刊: 半导体信息
• 学科: 经济
• 关键词: 道路曲折 MEMS 微型机电系统 微机电系统 执行器 接口电路 医疗电子 控制电路 平板电脑 年复合
• 年，卷（期）: bdtxx_2014,（1）
• 页码范围: 33-34
• 页数: 2页
• 分类号: F416.6

摘要

【正】MEMS智能化时代的核心交互器件。MEMS(微机电系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。在智能化"感知"时代,MEMS以其体积小、功耗低、灵敏度高等优点,成为智