用于高空气象探测的聚酰亚胺薄膜湿敏电容研究

• 作者: 卞晓月 吉淳 吴一奇 张健 王剑平
• 来源期刊: 华东师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 湿度传感器 湿敏电容 聚酰亚胺 MEMS
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 应用物理
• 页码范围: 69-76
• 页数: 8页
• 分类号: TP212
• 字数: 3071字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-5641.2014.04.009

摘要

设计制作了一种基于MEMS技术,可应用于高空湿度探测的薄膜湿敏电容.电容采用三明治结构,聚酰亚胺薄膜作为湿度敏感层材料,金作为上、下电极.测试结果表明,在15％RH～95％RH的全量程范围内,湿敏电容的合格率≥80％,灵敏度约为0.29pF/％RH,线性误差＜1.5％RH,湿滞较小,响应时间小于4s,温度系数好,具有良好的长期稳定性.研究表明,制作的湿敏电容综合指标良好,适合批量生产,可以满足高空气象探测要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张健	华东师范大学信息科学技术学院	88	357	8.0	15.0
2	吴一奇		3	7	2.0	2.0
3	王剑平		2	7	2.0	2.0
4	吉淳		2	7	2.0	2.0
5	卞晓月	华东师范大学信息科学技术学院	1	3	1.0	1.0