氢气流量对金刚石薄膜制备的影响

• 作者: 康强 杨瑞霞 石双振
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石薄膜 热丝法化学气相沉积(HFCVD) 表面形貌 颗粒尺寸 择优生长
• 年，卷（期）: 2014,（10）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 679-683
• 分类号: TN304.18|TN304.055
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2014.10.011

摘要

在不同氢气流量下,以丙酮为碳源,采用热丝法化学气相沉积在p型(111)单晶硅衬底上制备了金刚石薄膜.用金相显微镜、X射线衍射以及原子力显微镜对金刚石薄膜表面形貌以及质量进行了表征,结果表明:在氢气流量为150～200 mL/min时,金刚石薄膜择优(111)晶面生长,且金刚石颗粒逐渐变大,分布逐渐不均匀,在氢气流量为200mL/min时,甚至出现二次形核.在氢气流量为200～250 mL/min时,金刚石薄膜择优(100)晶面生长,金刚石颗粒逐渐变小,分布逐渐均匀.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨瑞霞	河北工业大学信息工程学院	180	759	13.0	18.0
2	康强	河北工业大学信息工程学院	2	3	1.0	1.0
3	石双振	河北工业大学信息工程学院	2	3	1.0	1.0