光学面形的轮带光学抛光方法研究

• 作者: 尹自强 李宁 田富竟
• 来源期刊: 应用光学
• 学科: 工学
• 关键词: 轮带光学抛光技术 光学抛光 面形精度
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 光学器件与制造
• 页码范围: 116-121
• 页数: 6页
• 分类号: TN205|TH161
• 字数: 2549字
• 语种: 中文
• DOI: 10.5768/JAO201435.0105001

摘要

鉴于光学零件高陡度凹曲面的抛光是光学加工的一个难题,轮带光学确定性抛光方法是解决此类零件抛光的有效方法之一;提出轮带光学抛光技术的原理和方法.研究了轮带光学抛光方法修形的可行性,采用五轴精密数控机床系统对一块直径Φ80 mm的K9玻璃平面样镜进行了修形试验,经过3次迭代修形使其面形精度均方根误差(RMS)由初始的0.109 λ提高到0.028 λ,平均每次收敛率达到1.3.实验结果表明,应用轮带光学抛光技术进行光学镜面修形,面形收敛速度较快,加工精度较高.本实验验证了轮带光学抛光技术的修形能力,为高陡度光学零件的抛光提供了研究基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李宁	国防科技大学机电工程与自动化学院	8	64	4.0	8.0
2	尹自强	国防科技大学机电工程与自动化学院	26	259	9.0	15.0
3	田富竟	国防科技大学机电工程与自动化学院	4	29	2.0	4.0