激光薄膜的设计与制备

• 作者: 徐均琪 苏俊宏 邹逢 郭芳
• 来源期刊: 表面技术
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 激光损伤阈值 优化 退火
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 所属期刊栏目: 应用技术
• 页码范围: 75-78,99
• 分类号: TB43|O484
• 语种: 中文

摘要

目的 研究激光薄膜的膜系结构及提高激光损伤阈值的制备工艺.方法 基于场强优化分布,设计Si基底上3～5 μm增透、1064 nm截止的激光薄膜,对镀后的薄膜进行激光辐照处理和真空退火处理,分析薄膜的相关性能.结果 薄膜内部不同的场强分布会对其激光损伤特性产生不同的影响.在满足光学性能的情况下,采用适当的膜系结构,使膜层/膜层界面处的电场强度降低,或者使最大电场强度存在于激光损伤阈值较高的材料中,可有效提高整个膜系的激光损伤阈值.采用激光辐照处理和真空退火处理,也可以提高薄膜的激光损伤阈值.结论 经过优化设计、激光辐照和真空退火处理,最终可使Si基底上红外减反薄膜的激光损伤阈值提高到6.2 J/cm2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐均琪	西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室	87	611	13.0	20.0
2	苏俊宏	西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室	111	496	12.0	16.0
3	郭芳	西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室	2	12	2.0	2.0
4	邹逢	西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室	1	8	1.0	1.0