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摘要:
采用晶格匹配的平面型InP/Ino.53 Gao.47 As/InP外延材料,设计了一种大光敏元、带有保护环的InGaAs线列探测器.通过Ⅰ-V测试、扫描电容显微技术(SCM)测试,研究并确定了线列器件的盲元与保护环结构之间的关系.通过设计改进,解决了器件的盲元问题.24×1InGaAs线列短波红外探测在室温20℃、-10 mV偏压下,暗电流密度约5 nA/cm2.将光敏芯片密封在集成了热电制冷器(TEC)的金属管壳内,组件工作温度5℃,探测器响应光谱在1.0 μm~l.67μm范围,平均峰值电流响应率为1.3 A/W,平均峰值探测率为3.4×1012 cm·Hz1/2/W,响应的非均匀性为1.5%.探测器经历一定条件的可靠性筛选试验后,性能未发生明显变化,并进行了航空机载成像应用,成像图片清晰.
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文献信息
篇名 平面型大光敏元InGaAs线列探测器及其应用
来源期刊 光学与光电技术 学科 工学
关键词 InGaAs探测器 平面型 盲元
年,卷(期) 2014,(1) 所属期刊栏目 图像与信号处理
研究方向 页码范围 75-79
页数 分类号 TN215
字数 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1672-3392.2014.01.017
五维指标
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研究主题发展历程
节点文献
InGaAs探测器
平面型
盲元
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光学与光电技术
双月刊
1672-3392
42-1696/O3
大16开
武汉市阳光大道717号
38-335
2003
chi
出版文献量(篇)
2142
总下载数(次)
3
总被引数(次)
9791
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
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