溶胶-凝胶法制备的Pt/Bi3.15Nd0.85Ti3O12/SrTiO3/Si电容结构及其性能研究

• 作者: 周益春 燕少安 郭纯维 马颖
• 来源期刊: 现代应用物理
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 金属-铁电层-绝缘层-半导体结构 钛酸锶薄膜 钛酸铋钕薄膜 存储窗口
• 年，卷（期）: 2014,（4）
• 所属期刊栏目: 凝聚态物理和材料科学
• 页码范围: 294-298
• 页数: 5页
• 分类号: TN384
• 字数: 2513字
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶-凝胶法制备了Pt/Bi3.15Nd0.85Ti3O12/SrTiO3/Si多层电容即金属-铁电层-绝缘层-半导体结构,并对其电学性能进行了测试与分析.获得的存储窗口电压约为2.5V,漏电流密度低于10-8 A·cm-2,保持时间达7.5h以上.制备的SrTiO3薄膜表现出较高的介电性和较好的绝缘性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周益春	湘潭大学材料科学与工程学院	108	552	11.0	21.0
5	马颖	湘潭大学材料科学与工程学院	12	30	3.0	5.0
9	郭纯维	湘潭大学材料科学与工程学院	1	1	1.0	1.0
10	燕少安	湘潭大学材料科学与工程学院	2	1	1.0	1.0