西门子法生产多晶硅还原过程节能降耗的模拟优化

• 作者: 张瑞 梁志武 符开云 陶升东
• 来源期刊: 化学工程
• 学科: 工学
• 关键词: 西门子法 多晶硅还原 节能降耗 优化 Aspen Plus
• 年，卷（期）: 2014,（7）
• 所属期刊栏目: 节能减排
• 页码范围: 1-5,16
• 页数: 6页
• 分类号: TQ110.6
• 字数: 4278字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9954.2014.07.001

摘要

利用吉布斯自由能最小原理，在Aspen Plus的Gibbs反应器模块中对传统西门子法还原过程进行模拟分析。考察了主要操作参数对多晶硅和副产物的转化率及能耗的影响。经过工艺参数优化，得到压力为100 kPa，氢气与三氯氢硅摩尔比为3/1时，多晶硅产率为44％，能耗为0．0185 GJ/kg。同时模拟了在传统工艺的进料中加入二氯二氢硅，得到在100 kPa下，二氯二氢硅、三氯氢硅和氢气摩尔比为1∶1∶5时，与传统工艺相比多晶硅产率提高9．5％，四氯化硅产率降低8．5％，能耗降低33％，节约氢气16．7％。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁志武	湖南大学化学化工学院	16	109	5.0	10.0
2	张瑞	湖南大学化学化工学院	3	42	3.0	3.0
3	陶升东	湖南大学化学化工学院	1	18	1.0	1.0
4	符开云	湖南大学化学化工学院	1	18	1.0	1.0