用于GHZ级硅集成电感器的CoZrNb类磁膜的制造及高频性能

• 作者: 姜劲(校) 薛蕙(编译)
• 来源期刊: 磁性元件与电源
• 学科: 工学
• 关键词: 集成化 高频性能 电感器 GHZ 制造 磁膜 b类 微小型化
• 年，卷（期）: 2014,（2）
• 页码范围: 146-148
• 页数: 3页
• 分类号: TM55

摘要

1引言现代电子设备的小型化和多功能化的发展趋势，不断要求和推动着电子元器件的微小型化、集成化和模块化技术的创新发展，其中，以减小无源电感元件的尺寸、重量并实现平面化的使命尤为紧迫和重要。