近红外宽截止窄带滤光膜的研制

• 作者: 付秀华 刘冬梅 张静 潘永刚 王晓娟
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 光学薄膜 窄带滤光膜 真空镀膜 离子辅助沉积 光学特性 膜系设计 膜厚监控
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 68-72
• 分类号: O484.4
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20144301.0131002

摘要

在空间光通信系统中,为满足光学系统对滤光膜的特殊要求,研制出了一种近红外宽截止窄带滤光膜,实现了降低深背景范围内杂散光干扰的要求.通过对薄膜材料特性的研究、膜系设计曲线的不断优化,得到了相对易于制备的窄带滤光膜结构;采用电子束加热蒸发及离子辅助沉积技术制备薄膜,采用光控加晶控同时监控的方法监控膜层厚度,通过不断优化工艺参量,提高中心波长处的透过率,最终成功得到了光谱性能较好的滤光膜.经光谱测试表明:所镀膜层在800～1 530 nm、1 600～1 800 nm波段平均透过率低于0.3％,1 565 nm单点透过率高于92％,通带半带宽为18 nm,满足光学系统的使用要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	付秀华	长春理工大学光电工程学院	141	525	11.0	15.0
2	张静	长春理工大学光电工程学院	67	132	6.0	8.0
3	刘冬梅	长春理工大学光电工程学院	49	107	5.0	8.0
4	王晓娟	长春理工大学光电工程学院	4	17	2.0	4.0
5	潘永刚	长春理工大学光电工程学院	15	71	4.0	8.0