ICP仪器中大功率射频固态功率放大板的设计

• 作者: 戚鹏程 金星
• 来源期刊: 质谱学报
• 学科: 化学
• 关键词: ICP 大功率 单板 放大器
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: “质谱仪器研制”专栏
• 页码范围: 250-255
• 页数: 6页
• 分类号: O657.63|TN722
• 字数: 2715字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7538/zpxb.2014.35.03.0250

摘要

本研究提出了一种在电感耦合等离子体(ICP)质谱/光谱仪中,安装在离子源光炬前端,单板最高功率可达2000 W的射频功率放大板的设计制作方法.该放大板采用最新射频横向扩散金属氧化物半导体(LDMOS)管Freescale MRFE6VP61K25H为末级放大器.MRFE6VP61K25H单管放大能力可达1250W,改进后单板通过2个LDMOS管组成推挽并行式的E类放大器,可轻松达到ICP光源要求的1600W设计功率.该放大器的成品体积为所用装备的25％,制造成本也仅为目前同类产品的50％,达到了体积小、造价低、功率大的设计效果.此设计可为进一步研制便携式ICP质谱/光谱仪等提供良好的硬件基础.