干涉测距仪测量不确定度评估

• 来源期刊: 测试科学与仪器
• 学科: 工学
• 关键词: 距离测量 长度测量 光学干涉仪
• 年，卷（期）: 2014,（3）
• 所属期刊栏目: Optical technologies
• 页码范围: 73-78
• 页数: 6页
• 分类号: TM9320.12+6
• 字数: 2540字
• 语种: 英文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-8042.2014.03.014

摘要

本文对与干涉测距仪（IDM）测量不确定度有关的参数进行了讨论。采用一个简单、鲁棒装置测量了约12 cm距离，扩展不确定性为±16．4μm ，发现测量不确定度受波长测量精度制约。该设置可测量距离达56 m ，它也能够轻松确定测量臂和参考臂之间等光程差的点。LabVIEW程序用于条纹的计数，快速傅立叶变换（FFT）对噪声按频率进行选择性过滤。虽然本文对不确定性的测定不能代表同类测量距离的最高不确定度，但该测量方法提供了可溯源于长度单位为米的测量值。