SPC技术在高纯四氟化硅生产中的应用

• 作者: 孙秋丽 张净普 李丹丹 李翔宇 郑秋艳
• 来源期刊: 化学工程师
• 学科: 工学
• 关键词: SPC 四氟化硅 控制图 过程能力指数
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 继续教育
• 页码范围: 15-17,28
• 页数: 4页
• 分类号: TQ127.2
• 字数: 2868字
• 语种: 中文

摘要

本文以高纯SiF4生产过程中精馏后的HF含量作为质量管理的对象,论述SPC技术在SiF4生产质量控制中的初步应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李丹丹	中国船舶重工集团公司第七一八研究所	22	21	3.0	3.0
2	郑秋艳	中国船舶重工集团公司第七一八研究所	28	61	4.0	7.0
3	孙秋丽	中国船舶重工集团公司第七一八研究所	6	3	1.0	1.0
4	李翔宇	中国船舶重工集团公司第七一八研究所	22	31	3.0	5.0
5	张净普	中国船舶重工集团公司第七一八研究所	7	1	1.0	1.0