超声原子力显微镜接触模式下样品有限元分析

• 作者: 孙星星 陈玉
• 来源期刊: 新乡学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 超声原子力显微镜 有限元分析 样品 形变与刚度
• 年，卷（期）: 2014,（12）
• 所属期刊栏目: 工业与技术研究
• 页码范围: 46-49
• 页数: 4页
• 分类号: TH741.8
• 字数: 1178字
• 语种: 中文

摘要

通过ANSYS有限元的方法对接触模式下的样品进行静力学仿真，以获得不同载荷、不同内部结构大小、不同内部结构位置以及不同材料时针尖和样品接触形变及刚度变化。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙星星	安徽工程大学机械与汽车工程学院	1	0	0.0	0.0
2	陈玉	安徽工程大学机械与汽车工程学院	33	103	5.0	8.0