基于偏转法的物体三维形貌测量

• 作者: 孙建飞 安东 张浩 王永红 马蛟
• 来源期刊: 工具技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电子散斑干涉 形貌测量 偏转法 相位解包裹
• 年，卷（期）: 2014,（6）
• 所属期刊栏目: 测试与仪器
• 页码范围: 80-83
• 页数: 4页
• 分类号: TG115|TH741
• 字数: 1913字
• 语种: 中文

摘要

基于数字散斑干涉测量技术,组建一套基于偏转法的物体三维形貌测量系统.首先,通过精密旋转平台使被测物体偏转微小角度,在其表面引入包含该物体形貌信息的弯曲干涉条纹.然后由散斑干涉条纹图提取其相位分布,对滤波后的包裹相位图进行相位解包裹运算,得到相位的真实分布图.最后根据相位分布与物面高度的关系求解出被测物体的高度信息.实验结果表明采用偏转法的散斑干涉技术可以实现物体三维形貌测量,具有测量精度较高、易于实现等优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张浩		52	309	9.0	16.0
2	王永红		58	365	11.0	15.0
3	孙建飞		4	64	4.0	4.0
4	马蛟		2	15	2.0	2.0
5	安东		2	19	2.0	2.0