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Precise Control of Temperature Rising Speed of Wafer during Rapid Thermal Processing
Precise Control of Temperature Rising Speed of Wafer during Rapid Thermal Processing
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摘要：
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Geochemical assessment, mixing behavior and environmental impact of thermal waters in the Guelma geo
Geochemistry
Geothermometry
Mixing
Thermal effluents
Guelma
Algeria
Thermodynamic properties of San Carlos olivine at high temperature and high pressure
San Carlos olivine
Thermodynamic property
Thermal expansion
Heat capacity
Temperature gradient
The use of hydrogeochemical analyses and multivariate statistics for the characterization of thermal
Hydrogeochemistry
Thermal waters
Multivariate statistical analysis
Silica geothermometers
Mixing models
Cold groundwaters
Iron isotope fractionation during fenitization: a case study of carbonatite dykes from Bayan Obo, In
Iron isotopes
Fenitization
Fluid exsolution
Carbonatite
Bayan Obo
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
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(/年)
文献信息
| 篇名 | Precise Control of Temperature Rising Speed of Wafer during Rapid Thermal Processing | ||
| 来源期刊 | 机械工程与自动化：英文版 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 上升速度 温度上升 精确控制 热加工 平均误差 半导体晶片 晶圆 比例积分微分 | ||
| 年，卷（期） | 2014,（5） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 359-364 | |
| 页数 | 6页 | 分类号 | TQ051.13 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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节点文献
上升速度
温度上升
精确控制
热加工
平均误差
半导体晶片
晶圆
比例积分微分
研究起点
研究来源
研究分支
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
机械工程与自动化：英文版
主办单位：
美国大卫出版公司
出版周期：
月刊
ISSN：
2159-5275
CN：
开本：
出版地：
武汉洪山区卓刀泉北路金桥花园C座4楼
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
651
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1
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