国产氩离子枪的研发

• 作者: 臧侃 董华军 郭方准
• 来源期刊: 物理
• 关键词: 氩离子 静电透镜 离子溅射 表面科学
• 年，卷（期）: 2014,（1）
• 所属期刊栏目: 实验技术 Experimental Technology
• 页码范围: 49-53
• 页数: 5页
• 字数: 3067字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7693/wl20140106

摘要

氩离子枪主要由离子源、加速电极、聚焦透镜和控制电源构成，可以产生并发射氩离子束，用于样品的表面清洁处理、表面刻蚀或深度分析，是表面分析和纳米科技装置中的重要构成之一。文章介绍国产氩离子枪的设计原理和测试结果，氩离子的加速电压可达2 kV，在工作距离150 mm和氩气分压为2.0×10-3 Pa的情况下，可产生4.5 mA的氩离子束流，束斑的直径在10-20 mm之间可调。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董华军		44	226	9.0	12.0
2	郭方准		22	70	5.0	7.0
3	臧侃		13	35	5.0	5.0